👤 Иван Силаев
Вакуумная техника и резистивное испарение в лабораторном практикуме. Получение тонких пленок резистивным испарением для использования в лабораторном практикуме по технологии полупроводников.
Татьяна Радченко
Иван Силаев
Автор