📖 Измерения микроразмеров в электронном микроскопе..

Автор книги – известный Российский учёный, работавший во многих научно-производственных организациях РФ и по контракту проработавший в США 5 лет на фирме «Nanometrology», NY – делится впечатлениями о состоянии дел в области контроля размеров деталей современных СБИС с нанометровыми проектными нормами. Вывод автора однозначен: проблема ещё не решена! Путь читатель заглянет в раздел книги Matching и убедится сам!