📖 Наноразмерные структуры в ионно-имплантированных пленках Si и GaAs..

В книге рассматриваются процессы формирования ультратонких пленок и нанокристаллов силицидов металлов на основе кремния и арсенида галлия с использованием метода низкоэнергетической ионной имплантации в сочетании с отжигом (температурный и лазерный). Изложены механизмы образования наноструктур, технологические маршруты изготовления нанокристаллов и нанопленок, а также возможные области их прменения. Книга рассчитана для научных работников, докторантов, магистрантов и студентов, специализирующихся в физике конденсированных сред и поверхности твердого тела, физической электроники и материаловедения.