📖 Примесь бора в монокристаллическом кремнии. МОНОГРАФИЯ.

В книге представлены исследования поведения примеси бора в монокристаллическом кремнии, выращенного по методу Чохральского. Приведены результаты вычисленных значений силы кулоновского взаимодействия для некоторых пар ионов в монокремнии. Дана оценка энергий связи Si-O, Si-B, B-O для одинарной связи. Проведен анализ взаимодействия ионов примесей между собой в среде вакуума и аргона, а также в среде расплавленного кремния. Рассчитана термодинамическая вероятность состояния системы Si-B, количество микросостояний системы при разных степенях легирования примесью. Установлена зависимость конфигурационной энтропии системы с учетом комплексообразования примеси. Проведен анализ энергии Гиббса при различных степенях легирования. Представлены измерения электрического сопротивления пластин до и после термической обработки. Прослежено изменение электросопротивления в зависимости от температуры и времени выдержки. На основе полученных экспериментов были проведены: дисперсионный анализ матричной системы, оценка результатов по критерию Кохрена и Стьюдента. Построены математические модели. Все экспериментальные результаты работы воспроизводимы и реальны при построении данной матрицы планирования.