👤 Александрова Ольга Анатольевна
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 3. Эпитаксиальный рост. Учебник для вузов
Лебедев Андрей Олегович
Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
Мараева Евгения Владимировна